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RIE反應(yīng)離子刻蝕

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RIE反應(yīng)離子刻蝕

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項(xiàng)目介紹

RIE反應(yīng)離子腐蝕技術(shù)是一種各向異性很強(qiáng)、選擇性高的干法腐蝕技術(shù)。

它是在真空系統(tǒng)中利用分子氣體等離子來進(jìn)行刻蝕的，利用了離子誘導(dǎo)化學(xué)反應(yīng)來實(shí)現(xiàn)各向異性刻蝕，即是利用離子能量來使被刻蝕層的表面形成容易刻蝕的損傷層和促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)，

同時(shí)離子還可清除表面生成物以露出清潔的刻蝕表面的作用。

主要用于Si、SiO2、SiNx、半導(dǎo)體材料、聚合物、金屬的刻蝕以及光刻膠的去除等，廣泛應(yīng)用于物理，生物，化學(xué)，材料，電子等領(lǐng)域。

樣品要求

1.樣品載物臺(tái)最大可放置 8 寸硅片；小樣品只要可放在載物臺(tái)亦可；

2.樣品可以是多晶硅柵電極，石英材料，鍺材料等；

3.若需進(jìn)一步溝通，請(qǐng)聯(lián)系技術(shù)老師。

項(xiàng)目案例

RIE反應(yīng)離子刻蝕

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7天無理由
7天無理由免費(fèi)復(fù)測(cè)
1. 復(fù)測(cè)保證

如果在訂單完成之后7天內(nèi)對(duì)結(jié)果存疑,可申請(qǐng)同條件免費(fèi)復(fù)測(cè)，更換條件或者參數(shù)不能參與免費(fèi)復(fù)測(cè)保障服務(wù)，全程由專業(yè)團(tuán)隊(duì)操作，確保結(jié)果有效性；

2. 具體細(xì)則

每單限1次復(fù)測(cè)機(jī)會(huì)，單次需小于5個(gè)樣品; 此外免費(fèi)復(fù)測(cè)樣品必須為同一樣，私人定制、云視頻測(cè)試不可享受此服務(wù)；

3. 注意事項(xiàng)

如果由于您自身樣品的情況(樣品有問題/選錯(cuò)測(cè)試條件等)將不可享受此服務(wù)；

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