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測試狗透射電鏡校準和測試能力獲國家計量比對認可

來源：時間：2025-11-17 14:23:33 瀏覽：1657次

測試狗透射電鏡校準和測試能力獲國家計量比對認可

為更好地發(fā)揮計量比對在保證量值準確可靠、支撐計量事中事后監(jiān)管和提升計量技術(shù)機構(gòu)能力等方面的重要作用，市場監(jiān)管總局組織實施了防護水平X射線空氣比釋動能量值比對等26項國家計量比對。

項目編號：2021-B-16

主導實驗室：中國計量科學研究院

比對項目：透射電鏡測量二氧化鉿（HfO2）和氮化硅（Si3N4）薄膜厚度。

主導實驗室依據(jù) T/CSTM00162—2020《透射電子顯微鏡校準方法》和 GB/Z 21738—2008《一維納米材料的基本結(jié)構(gòu)高分辨透射電子顯微鏡檢測方法》標準，制定了比對方案，準備了 HfO2 和 Si3N4 薄膜比對樣品及GBW13955 金晶面間距標準物質(zhì)。參比實驗室依據(jù) T/CSTM 00162—2020《透射電子顯微鏡校準方法》標準對透射電鏡進行校準，使用校準后的透射電鏡，依據(jù)GB/Z21738—2008《一維納米材料的基本結(jié)構(gòu)高分辨透射電子顯微鏡檢測方法》標準，對兩個樣品的薄膜厚度進行了測量。主導實驗室對測量結(jié)果進行比較和評價，并根據(jù)En值判斷是否合格。項目簡介：透射電鏡作為材料領域最重要的測量分析儀器之一，具有測量結(jié)果可視、分辨率高、準確性好、功能多樣化等優(yōu)點，尺寸測量覆蓋了埃米到微米范圍，廣泛應用于金屬合金、集成電路、納米科技、生物醫(yī)藥等領域材料樣本的表征和分析。透射電鏡測量量值的準確性影響樣品/產(chǎn)品性能的可靠性和安全性。因此，開展透射電鏡中、高放大倍率下膜厚量值的計量比對具有重要意義。本比對采用標準物質(zhì)/標準樣品校準透射電鏡，然后使用校準后的透射電鏡測量 HfO2薄膜樣品和Si3N4薄膜樣品的薄膜厚度。此次透射電鏡計量比對與主導實驗室主導的APMP/TCMM —35—透射電鏡 Si{220}晶面間距測量比對同步進行，比對方案基本相同。

比對結(jié)果符合規(guī)定要求的參比實驗室：北京理工大學、測試狗（成都）實驗檢測有限公司、廣州計量檢測技術(shù)研究院、天津大學、清華大學深圳國際研究生院、松山湖材料實驗室公共技術(shù)平臺。

參比實驗室勝科納米（蘇州）股份有限公司、內(nèi)蒙古工業(yè)大學和中國科學院金屬研究所的初測比對結(jié)果偏離正常范圍，目前已整改，補測結(jié)果符合要求。

測試狗實驗室的透射電鏡

本次比對不僅檢驗了國內(nèi)透射電鏡實驗室測量能力，而且可以第一時間將國際比對量值與國內(nèi)比對量值鏈接，在新材料與納米計量領域做到國際國內(nèi)量值等效一致。通過本次比對，驗證了國內(nèi)透射電鏡測量膜厚量值的一致性，反映了參比實驗室開展透射電鏡膜厚測量的技術(shù)能力和人員水平，提升了透射電鏡校準、測量能力和水平。

原文鏈接：市場監(jiān)管總局關于26項國家計量比對結(jié)果的通告

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