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四探針測試儀測量半導體材料電阻率

來源：晶格四探針時間：2022-10-26 17:48:34 瀏覽：6949次

1. 基本介紹

電阻率的測量是半導體材料常規(guī)參數(shù)測量項目之一。測量電阻率的方法很多，如三探針法、電容---電壓法、擴展電阻法等。四探針法則是一種廣泛采用的標準方法，在半導體工藝中最為常用。其主要優(yōu)點在于設備簡單，操作方便，精確度高，對樣品的幾何尺寸無嚴格要求。四探針法除了用來測量半導體材料的電阻率以外，在半導體器件生產(chǎn)中廣泛使用四探針法來測量擴散層薄層電阻，以判斷擴散層質(zhì)量是否符合設計要求。

2. 四探針發(fā)展歷史

1865 年首次提出四探針測試原理湯姆森；

1920 年第一次實際應用，測量地球電阻率 Schlunberger ；

1954 年第一次用于半導體電阻率測試 Valdes；

1980 年代具有Mapping 技術(shù)的四點探針出現(xiàn)；

1999 年開發(fā)出首臺微觀四點探針 Pertersen。

3. 四探針測試原理圖

四根等距探針豎直的排成一排，同時施加適當?shù)膲毫κ蛊渑c被測樣品表面形成歐姆連接，用恒流源給兩個外探針通以小電流 I，精準電壓表測量內(nèi)側(cè)兩探針間電壓 V，根據(jù)相應理論公式計算出樣品的薄膜電阻率。

4.四探針測試方法分類

最為常用的測試方法為直線（常規(guī)）四探針法和雙電測四探針法。

ST2258C多功能數(shù)字式四探針測試儀(常規(guī)四探針法選用)

ST2263雙電測數(shù)字式四探針測試儀(雙電測法選用)

來源：晶格四探針

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