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電子探針顯微鏡與掃描電鏡區(qū)別的三大要點(diǎn)

來源：測試GO 時(shí)間：2022-08-15 14:19:25 瀏覽：9083次

雖然兩種儀器的基本原理相同在進(jìn)行實(shí)驗(yàn)時(shí)，但是大多數(shù)人仍然分不清楚且不知道怎么選擇。以下三點(diǎn)教你如何區(qū)別電子探針顯微鏡與掃描電子顯微鏡：

電子探針顯微儀展示圖

1、作用

電子探針顯微鏡對電子光學(xué)裝置工作狀態(tài)下的可靠性要求遠(yuǎn)高于掃描電子顯微鏡很多很多,為控制系統(tǒng)添加了一個(gè)負(fù)反饋機(jī)制,使得研究條件可以與標(biāo)樣分析結(jié)果有極小的偏差。同等功能的EPMA比SEM系統(tǒng)造價(jià)高出許多。

2、工作原理

從工作原理上來看，掃描探針顯微鏡，因?yàn)樗墓ぷ髟硎强刂铺结榿磉M(jìn)行掃描成像的，所以掃描的速度會受到一定的限制，檢測的效率也會偏低于其他的顯微技術(shù)。這樣掃描的效率就會收到一定的影響,而分析的質(zhì)量也就會偏低于其他的顯微方法。由于壓電效應(yīng),在保證能夠準(zhǔn)確的情況下的移動幅度比較小(目前是很難突破100μm量級),而機(jī)械的調(diào)整精度也無方法與之相銜接,所以做不了如在電子顯微鏡那么寬范圍的連續(xù)變焦下,對于確定和尋找樣品的基本結(jié)構(gòu)就相當(dāng)麻煩。

3、用途上

掃描電子顯微鏡，主要用于固體物質(zhì)表面電子顯微高分辨成像，接配電子顯微分析附件，并進(jìn)行了相關(guān)的生物特征信號識別。最常見的化學(xué)分析器件,是針對通過電子束和樣品作用區(qū)域輻射出的元素特性X-射線,通過使用EDS和WDS進(jìn)行化學(xué)檢測分析,可以獲取作用區(qū)域元素組成數(shù)據(jù),由于掃描電子顯微鏡是一種電子顯微分析系統(tǒng),分析的附件也可以按照客戶要求進(jìn)行選擇,所以離子色譜儀的類型也存在著多樣化。電子探針顯微鏡主要是為了準(zhǔn)確獲取微米的晶粒以及顆粒中的元素?cái)?shù)據(jù),通過電子束樣品作用區(qū)域發(fā)出的特性X輻射,使用探測的主要工具為WDS,通常配備4道WDS,中心對稱地安裝于電子束附近,通過此重要組件,電子探針顯微鏡主要追求微區(qū)化學(xué)分析的準(zhǔn)確度，根據(jù)此標(biāo)配,由于電子探針顯微鏡主要追求微區(qū)化學(xué)分析結(jié)果準(zhǔn)確,所以對電子光學(xué)的分辨率要求比較寬松,而電子顯微分析則對匯聚的束束額定電流需求很大,所以束斑比較粗。早期電子探針顯微鏡成像方法主要是使用同軸電子光學(xué)顯微鏡,然后通過移動樣品臺或移動設(shè)備匯聚電子束,以尋找敏感點(diǎn),雖然當(dāng)前仍然有同軸光鏡,主要用于校準(zhǔn)WD。但實(shí)際上需要使用電子探針的地方比較少,而離子色譜儀比較廣泛。

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