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如何處理XPS原始數(shù)據(jù) | 附XPSPeak軟件下載
來源:本站 時(shí)間:2019-09-06 11:40:02 瀏覽:33370次

盼了好久,終于盼來了XPS的分峰擬合教程!


拿到XPS的實(shí)驗(yàn)結(jié)果,首先我們要會(huì)看XPS高分辨譜原始數(shù)據(jù)


XPS高分辨譜的原始數(shù)據(jù)一般為“.xls”文件,打開該文件,我們可以看到各種特定元素的高分辨譜及對它們進(jìn)行半定量分析的原始數(shù)據(jù)。如下圖:



記住,在進(jìn)行分峰擬合前,我們需先對原始數(shù)據(jù)進(jìn)行荷電校準(zhǔn)


校準(zhǔn)時(shí)一般用外來污染碳(284.8 eV)作為基準(zhǔn),所用工具為“Origin”軟件。


首先,我們將各元素的高分辨譜的“關(guān)鍵數(shù)據(jù)(各元素的結(jié)合能和譜峰強(qiáng)度)”拷貝入origin的數(shù)據(jù)模塊,如下:



注意上圖中有3列Y,為了便于成圖,選中上圖的D(Y)列,單擊右鍵,在跳出的小框中選擇“Set as X ”, 然后得到如下界面;



選中C1s(碳的高分辨譜數(shù)據(jù))的“關(guān)鍵數(shù)據(jù)”——上圖藍(lán)色框?qū)?yīng)的兩列,左鍵單擊“藍(lán)色框中的成圖按鈕”,即可得到C1s的譜圖,然后選擇"紫色框中的讀圖工具",讀出C1s譜峰的橫坐標(biāo), 即C1s的結(jié)合能(284.7eV), 如下:



由于外來污染碳的標(biāo)準(zhǔn)值為284.8 eV, 故荷電校正值為284.8 eV - 284.7 eV = 0.1 eV。也就是說,此次測試的這個(gè)樣品,所有元素的結(jié)合能均需要+0.1 eV作為荷電校正,從而得到準(zhǔn)確的結(jié)合能值。選中D(X2)列,右鍵,在彈出的小框中選擇“Set Column Values”;



然后在彈出的“sheet”中選擇Col(A), 輸入“Col(D)+0.1”,點(diǎn)擊“Apply”如下:



用同樣的方法將A(X1)列——對應(yīng)O1s(氧的高分辨譜數(shù)據(jù))的結(jié)合能,所有數(shù)據(jù)加0.1。



接下來進(jìn)入數(shù)據(jù)處理重要環(huán)節(jié)——分峰擬合


高分辨譜經(jīng)過分峰擬合之后,才可以用來確定元素的化學(xué)態(tài),或者通過反應(yīng)前后樣品的高分辨譜圖比對來得到其表面電子結(jié)構(gòu)的變化信息?,F(xiàn)在,我們用XPS的數(shù)據(jù)處理專業(yè)軟件——XPSpeak進(jìn)行分峰擬合。


第一步 將經(jīng)過荷電校正的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為“.txt”格式文件,注意在“.txt”文檔中,第一行要直接以數(shù)據(jù)開始,最后一行也要以數(shù)據(jù)結(jié)束,不能有空行或其它文字,否則將無法導(dǎo)入XPSpeak 。



第二步 在XPS peak軟件中導(dǎo)入“.txt”文件,在XPS peak界面選擇 Data/Import(ASCII);



選擇“XPSpeak-O1s.txt”文件,即得到如下所示O1s的譜圖。



第三步 建立基準(zhǔn)線。在Region窗口中,點(diǎn)擊“Background”, 默認(rèn)“High BE和Low BE”的數(shù)據(jù)不變,在“Background type”中選取Shirley,再通過輸入“Shirley+Lineai”中slope的值,點(diǎn)擊accept調(diào)整基準(zhǔn)線,調(diào)整好后點(diǎn)“close”關(guān)閉小框。



第四步 加峰 點(diǎn)擊Add peak選擇合適的Peak Type(如s、p、d、f,峰類型的選擇,不影響分峰),S.O.S選0

在Position處輸入希望的峰位,需固定時(shí)則點(diǎn)fix前小方框,同法還可設(shè)置半峰寬(FWHM)、峰面積等。如要設(shè)置%Lorentzian-Gaussian則先去掉其fix前的√。如果對所添加峰不滿意,選擇“Delete Peak”去掉。如此重復(fù),設(shè)置好后點(diǎn)擊“Accept”完成對該峰的設(shè)置。注意,%Lorentzian-Gaussian值最后固定在20%左右。



同樣的方式,可以添加第二個(gè)峰。對于p,d,f軌道而言,譜線都有裂分,裂分的峰之間存在一定的關(guān)系,需要特別注意,以下為常見規(guī)則:


A. 對于p、d、f等能級(jí)的次能級(jí)(如p3/2、p1/2,為簡便省略/2,簡稱為p3、p1)強(qiáng)度比是一定的,p3:p1=2:1;d5:d3=3:2,f7:f5=4:3。在峰擬合過程中要遵循該規(guī)則。如Pb4f中同一價(jià)態(tài)的Pb4f7和Pb4f5峰面積比應(yīng)為4:3。


B.對于有能級(jí)分裂的能級(jí)(p、d、f),分裂的兩個(gè)軌道間的距離也基本上是固定的。 如同一價(jià)態(tài)的W4f7和W4f5之間的距離為2.15eV左右,Si2p3和Si2p1差值為1.1eV左右,具體化學(xué)狀態(tài)下能級(jí)分裂的兩個(gè)軌道之間的距離會(huì)有不同。


C.對于同一元素的裂軌道,其半峰寬應(yīng)該盡量接近一致。對于同一儀器及儀器參數(shù),各數(shù)據(jù)的GL高斯-洛倫茲比應(yīng)保持一致(可直接采用默認(rèn)值80)。

此處,可通過調(diào)節(jié)峰置、半峰寬和峰面積設(shè)置好“峰0”的參數(shù),選擇“Accept”得到峰0,再通過“Add Peak”設(shè)置“Peak1/Peak2....”中的參數(shù),得到相應(yīng)的峰。注意,選擇峰位/半峰寬/峰面積等對應(yīng)的“Constraints”,可以設(shè)置后當(dāng)前峰對其它峰相應(yīng)參數(shù)的數(shù)字關(guān)系。如下圖:



當(dāng)峰大致確定好后,可選擇“XPS Peak Processing”中的峰號(hào),選中相應(yīng)的峰,并通過調(diào)節(jié)右框中的參數(shù)調(diào)節(jié)峰的形狀位置等,通過“Accept”確定或通過“Delete Peak”刪除選中的峰。待所有峰確定好后,選擇“Optimise All”,可多次點(diǎn)擊以優(yōu)化,得到初步分峰結(jié)果如下圖。注意,在對各峰進(jìn)行調(diào)節(jié)的過程中請謹(jǐn)記以上A、B、C三條原則,反復(fù)調(diào)節(jié),盡可能讓擬合出來的數(shù)據(jù)和原始數(shù)據(jù)重合。



當(dāng)一個(gè)元素分峰擬合好以后,可選擇“Region2、3.....”進(jìn)入新的界面,如下圖:



再導(dǎo)入校正好的其它元素的“關(guān)鍵數(shù)據(jù)”,按以上方法分峰擬合。



導(dǎo)入校正好的“C1s”關(guān)鍵數(shù)據(jù)最終處理結(jié)果如下:



第五步 保存并導(dǎo)出擬合數(shù)據(jù)


擬合完成后,選擇“XPS peak processing ”中的“Save XPS”,將擬合結(jié)果存儲(chǔ)為.xps文件,以便下次在這次基礎(chǔ)上繼續(xù)處理。



若擬合滿意了,則將擬合結(jié)果保存為“.dat”文件,(在XPS Peak Fit界面中,Data/Export(Spectrum)),將“.dat”文件拖入origin中便可成圖。



至此,XPS原始數(shù)據(jù)的處理就差不多了。

XPSPeak軟件下載地址:https://pan.baidu.com/s/1bo05JTP

——END——


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全部 3小時(shí)前 四川
文字是人類用符號(hào)記錄表達(dá)信息以傳之久遠(yuǎn)的方式和工具?,F(xiàn)代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產(chǎn)生書面文字,很多小語種,有語言但沒有文字。文字的不同體現(xiàn)了國家和民族的書面表達(dá)的方式和思維不同。文字使人類進(jìn)入有歷史記錄的文明社會(huì)。
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